一种带有检测孔的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法

摘要

本发明公开一种带有检测孔的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法，包括衬底、两个长锚区、六根带有检测孔的被测悬臂梁。所述两个长锚区固定在衬底的上表面上；所述被测悬臂梁的一端固定在长锚区的一个侧面，另一端刻蚀着一个方形通孔作为检测孔，检测孔的侧壁垂直于表面；所述六根带有检测孔的悬臂梁每三根一组，相互平行的固定在一个长锚区上；所述两组悬臂梁的悬置端两两相对，完全对称的相向放置。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时，检测孔的侧壁会随之发生倾斜，根据观察到前侧壁或后侧壁在水平面上的投影面积，即可判断被测悬臂梁的弯曲情况。本测试方法降低了对观测设备的要求，直观、方便。

主权项

一种带有检测孔的MEMS微梁应力梯度的测试结构，其特征在于：包括衬底、两个长锚区和六根被测悬臂梁；所述两个长锚区为左侧长锚区和右侧长锚区，分别固定在衬底的上表面上；所述六根被测悬臂梁每三根一组，分为两组，每组中的被测悬臂梁平行等距设置，两组被测悬臂梁分别通过各自的锚区平行并悬置在衬底的上方；第一组被测悬臂梁的一端固定在左侧长锚区的右侧面，另一端刻蚀有检测孔；第二组被测悬臂梁的一端固定在右侧长锚区的左侧面，另一端刻蚀有检测孔；所述检测孔为方形通孔，检测孔的侧壁垂直于表面；所述两组被测悬臂梁的悬置端相互对应，完全对称的相向放置。