平面度测量装置

摘要

一种平面度测量装置，由激光发射器、位置敏感探测模块、控制器、探头、机壳、压缩弹簧、压盖、互相平行的第一X向滑轨与第二X向滑轨、互相平行的第一Y向滑轨与Y向滑轨以及放置被测零件的基板组成，本发明具有结构简单、使用方便、价格低廉和平面度测量精度高的特点，可应用于批量生产现场和机械加工车间，对平面度进行检测。

主权项

一种平面度测量装置，其特征在于：包括激光发射器(1)、位置敏感探测模块(2)、控制器(3)、探头(4)、机壳(5)、压缩弹簧(6)、压盖(7)、互相平行的第一X向滑轨(8)与第二X向滑轨(9)、互相平行的第一Y向滑轨(10)与Y向滑轨(11)以及放置被测零件(13)的基板(12)；所述的位置敏感探测模块(2)固定在探头(4)内，探头(4)放置在机壳(5)内，两者之间采用精密间隙配合，探头(4)上表面开一个圆形凹槽，用于放置压缩弹簧(6)，压盖(7)设有一凸台，嵌入在圆形凹槽内，压盖(7)与机壳(5)之间通过螺钉固定，压盖(7)向下使压缩弹簧(6)产生形变，对探头(4)上表面施加预紧力；所述的激光发射器(1)由激光器二极管(1.1)、激光壳体(1.2)、准直透镜(1.3)、衰减片(1.4)和聚焦透镜(1.5)组成，激光二极管(1.1)发射的激光束沿中心光轴，依次通过准直透镜(1.3)、衰减片(1.4)和聚焦透镜(1.5)；所述的激光发射器(1)固定在机壳(5)外表面，机壳(5)侧壁开一个通光孔，使激光发射器(1)输出的激光聚焦到位置敏感探测模块(2)光敏面的中心区域进行光电转换，控制器(3)固定在机壳(5)的外壁上，通过导线与位置敏感探测模块(2)相连，电信号经控制器(3)进行信号转换和处理，并显示激光光斑几何中心位置信息，因此，将探头(4)的机械位移转换为光斑在探测器光敏面上的位移，实现探头(4)在Z方向的位置测量；所述的机壳(5)分别与第一X向滑轨(8)和第二X向滑轨(9)通过轴孔精密间隙配合连接，第一X向滑轨(8)和第二X向滑轨(9)的两端分别设有方形通槽，并通过该方形通槽与第一Y向滑轨(10)、第二Y向滑轨(11)连接，连接处采用精密间隙配合，第一Y向滑轨(10)、第二Y向滑轨(11)的底部固定于基板(12)的四角上，机壳(5)通过第一X向滑轨(8)和第二X向滑轨(9)实现探头(4)在X方向的移动，通过第一Y向滑轨(10)、第二Y向滑轨(11)实现探头(4)在Y方向的移动。