一种陶瓷基板双面镀膜装置

摘要

本发明公开了一种陶瓷基板双面镀膜装置，包括依次装接连通的进片室、镀膜室和出片室，所述镀膜室包括室体，该室体底部的两侧活动设有转动辊，室体外设有驱动器，该驱动器通过连接件与转动辊连接以控制该转动辊的转动，转动辊上活动放置有用于传输陶瓷基板的衬底夹具板，该衬底夹具板内设有转动支架，室体上设有电机，该电机通过连接件与转动支架连接以控制该转动支架的转动，室体顶部内壁上安装有耙材。本发明利用转动支架实现陶瓷基板的翻转，从而实现双面镀膜，有效降低设备制造和维护成本，提高陶瓷基板的镀膜效率。

主权项

一种陶瓷基板双面镀膜装置，包括依次装接连通的进片室、镀膜室和出片室，其特征在于，所述镀膜室包括室体，该室体底部的两侧活动设有转动辊，室体外设有驱动器，该驱动器通过连接件与转动辊连接以控制该转动辊的转动，转动辊上活动放置有用于传输陶瓷基板的衬底夹具板，该衬底夹具板内设有转动支架，室体上设有电机，该电机通过连接件与转动支架连接以控制该转动支架的转动，室体顶部内壁上安装有耙材。