立式径流真空泵

摘要

本发明提供了一种立式径流真空泵，包括泵壳，泵壳上设有进气口和排气口，泵壳内设有径流抽气单元，径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，转子上固设有两平圆盘动轮，静轮设于两相邻的动轮之间，动密封位于最下方的所述动轮下方或最上方的所述动轮上方，泵壳为柱状结构，进气口设于泵壳的侧壁上，静轮外侧设有径向气体流动通道，径向气体流动通道与进气口相对。本发明的立式径流真空泵大幅度缩短进气通道的长度，增大进气通道的面积，降低进气阻力，提高立式径流真空泵的抽气效率，有效抽速高出传统卧式径流真空泵30%以上。本发明的立式径流真空泵结构简单，制造成本低，与传统卧式径流真空泵相比，制造成本降低约30%。

主权项

一种立式径流真空泵，包括泵壳，所述泵壳上设有进气口和排气口，所述泵壳内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘动轮，所述静轮设于两相邻的所述动轮之间，当所述径流抽气单元的抽气方向由外向内抽气时，所述动密封位于所述动轮的下方，或者当所述径流抽气单元的抽气方向由内向外抽气时，所述动密封位于所述动轮的上方，其特征在于，所述泵壳为柱状结构，所述进气口设于所述泵壳的侧壁上，所述静轮外侧设有径向气体流动通道，所述径向气体流动通道与所述进气口相对。