透镜阵列及其制造方法、固态成像设备和电子设备

摘要

本技术涉及可在抑制图像质量劣化的同时提高AF性能的透镜阵列及其制造方法、固态成像设备和电子设备。一种透镜阵列包括微透镜，所述微透镜对应于相位差检测像素形成，所述相位差检测像素被设置成混在成像像素中。所述微透镜中的每个被形成为使得其透镜面是基本上球形面，所述微透镜在平面图上具有矩形形状并且四个拐角基本上没有被倒圆，以及在剖视图上包括像素边界部分的对边中心部分的对边边界部分附近的底表面比包括对角边界部分的对角边界部分附近的底表面高。例如，本技术可应用于CMOS图像传感器的透镜阵列。

主权项

一种透镜阵列，所述透镜阵列包括：微透镜，其对应于相位差检测像素形成，所述相位差检测像素被设置成混在成像像素中，所述微透镜被形成为使得其透镜面是基本上球形面，所述微透镜在平面图上具有矩形形状并且四个拐角基本上没有被倒圆，以及在剖视图上包括像素边界部分的对边中心部分的对边边界部分附近的底表面比包括对角边界部分的对角边界部分附近的底表面高。