一种镀膜基片架及真空镀膜设备

摘要

本实用新型适用于真空镀膜技术领域，公开了一种镀膜基片架及真空镀膜设备，所述镀膜基片架包括用于传动和支撑的外部框架和设置在外部框架内的至少两个竖杆和至少两个横杆，每相邻的两个竖杆和每相邻的两个横杆围合成尺寸可调的内部框架；每一竖杆与每一横杆滑动连接，每一竖杆可沿横杆的长度方向滑动，每一横杆可沿竖杆的长度方向滑动，以调节内部框架的尺寸。本实用新型通过将至少两个横杆和至少两个竖杆滑动连接在外部框架内，可自由组合成各种尺寸的内部框架，再将横杆和竖杆固定在镀膜基片架外部框架上，即可开始放玻璃片进行镀膜，可快速在线切换产品尺寸；同时，在实际镀膜生产中的应用，既节约了生产成本也提高了生产效率。

主权项

一种镀膜基片架，其特征在于，包括用于传动和支撑的外部框架(1)和设置在所述外部框架(1)内的至少两个竖杆(2)和至少两个横杆(3)，每相邻的两个所述竖杆(2)和每相邻的两个所述横杆(3)围合成尺寸可调的内部框架(4)；每一所述竖杆(2)与每一所述横杆(3)滑动连接，每一所述竖杆(2)可沿所述横杆(3)的长度方向滑动，每一所述横杆(3)可沿所述竖杆(2)的长度方向滑动，以调节所述内部框架(4)的尺寸。