| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trennen einer an einer Keimstruktur (2) abgeschiedenen Kohlenstoffstruktur (1) beispielsweise Graphene, Carbon-Nanotubes oder Halbleiter-Nanowires von der Keimstruktur (2). Um die Herstellung von Kohlenstoffstrukturen zu vereinfachen und insbesondere ein Verfahren anzugeben, mit dem das Trennen der Kohlenstoffstruktur von der Keimstruktur innerhalb der Prozesskammer, in der die Abscheidung erfolgt, wird nachstehend vorgeschlagen, – Bereitstellen einer an einer Keimstruktur (2) abgeschiedenen Kohlenstoffstruktur in einer Prozesskammer eines CVD-Reaktors; – Aufheizen des die Keimstruktur (2) und die Kohlenstoffstruktur (1) aufweisenden Substrates auf eine Prozesstemperatur; – Einspeisen zumindest eines Ätzgases mit der Summenformel AOmXn, AOmXnYp oder AmXn, wobei A aus einer Gruppe von Elementen ausgewählt ist, die S, C, N enthält, wobei O Sauerstoff ist, wobei X, Y verschiedene Halogene sind und m, n, p natürliche Zahlen größer Null sind; – Umwandeln der Keimstruktur (2) durch eine chemische Reaktion mit dem Ätzgas in ein gasförmiges Reaktionsprodukt; – Entfernen des gasförmigen Reaktionsproduktes aus der Prozesskammer mittels eines Trägergasflusses. |
