薄膜形成装置及薄膜形成方法

摘要

本发明提供一种薄膜形成装置及薄膜形成方法，其目的在于要求缩减用于在阻焊抗蚀剂等薄膜上印字的工序数。本发明的薄膜形成装置及薄膜形成方法中，第1喷头及第2喷头对置于对象物。第1喷头及第2喷头分别吐出第1色及第2色的液状材料。移动机构使保持对象物的载物台相对于第1喷头及第2喷头向对象物的面内方向移动。控制装置控制第1喷头及移动机构而在对象物上以第1色液状材料形成第1薄膜，且控制第2喷头及移动机构而在对象物上以第2色液状材料形成第2薄膜。

主权项

一种薄膜形成装置，其中，具有：载物台，保持对象物；第1喷头，与所述对象物对置且形成有吐出第1色阻焊抗蚀剂的多个喷嘴孔；第2喷头，与所述对象物对置且形成有吐出与第1色不同的第2色阻焊抗蚀剂的多个喷嘴孔；移动机构，使所述载物台相对于所述第1喷头及所述第2喷头在所述对象物的面内方向移动，或使所述第1喷头及所述第2喷头相对于所述载物台在所述对象物的面内方向移动；及控制装置，控制所述移动机构、所述第1喷头及所述第2喷头，所述控制装置控制所述第1喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第1色阻焊抗蚀剂形成第1薄膜，且控制所述第2喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第2色阻焊抗蚀剂形成第2薄膜，所述第1薄膜和所述第2薄膜中任意一薄膜的边覆盖在另一薄膜的边上，由第1薄膜与第2薄膜构成的阻焊抗蚀剂膜的膜厚在面内均匀，所述第2薄膜具有作为用肉眼能够识别的标识发挥作用的平面形状。