| 摘要 |
본 발명은 기판 위에 셀레늄주석을 효율적으로 증착할 수 있는 셀레늄주석 나노시트의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 셀레늄주석 나노시트의 제조방법은 셀레늄주석 파우더를 가열하여 셀레늄주석을 기화시키는 기화단계와, 기화된 셀레늄주석을 기판으로 공급함으로써 셀레늄주석을 기판 상에 물리적 기상증착(Physical vapor deposition)시키는 증착단계를 포함하며, 증착단계에서 기판을 270~330℃로 가열하는 것을 특징으로 한다. |
