发明名称 PICKUP DEVICE STRUCTURE WITHIN A DEVICE ISOLATION REGION
摘要 디바이스는 반도체 기판 내에 형성된 디바이스 분리 영역(상기 디바이스 분리 영역은 감광성 디바이스를 위한 갭들을 가짐), 기판 위에 형성된 더미 게이트 구조물(상기 더미 게이트 구조물은 디바이스 분리 영역 내에 형성된 도핑된 픽업 영역을 부분적으로 둘러싸는 적어도 하나의 구조물을 포함함), 및 도핑된 픽업 영역에 접속된 비아를 포함한다.
申请公布号 KR101617945(B1) 申请公布日期 2016.05.03
申请号 KR20140079863 申请日期 2014.06.27
申请人 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 发明人 가오 민 펭;양 둔니안;리우 젠 쳉;수 추 수안;첸 수 잉;수 웨이 쳉;쳉 시아오 휘
分类号 H01L21/336;H01L21/60;H01L21/76;H01L27/146 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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