| 摘要 |
실시예는 알루미나 용융액이 수용되는 도가니; 상기 도가니의 주변 영역을 밀폐하되, 상부에 개구부가 형성되는 챔버; 상기 챔버의 상부에 배치되되, 상기 개구부의 가장 자리를 밀폐하는 벨로즈; 상기 벨로즈를 통하여 상기 챔버 내부에서 단결정 잉곳을 인상하는 인상축; 상기 인상축의 상부에서 상기 단결정 잉곳의 무게를 측정하는 센서; 및 상기 벨로즈의 상부에 배치되어 상기 벨로즈와 상기 센서를 차단하는 차단막을 포함하는 단결정 잉곳의 성장 장치를 제공한다. |
