| 摘要 |
본 발명은 마찰교반접합 시 접합 종료지점에 엔드홀과 같은 접합결함이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있게 하는 마찰교반 접합 툴 유닛에 관한 것으로, 마찰교반 접합 툴 유닛은 마찰교반 접합 장치의 접합헤드에 제공되는 스핀들에 연동 가능하게 장착된다. 이러한 마찰교반 접합 툴 유닛은, 마찰교반 접합 툴 유닛은, 하단면 상에 숄더부를 형성하고 스핀들을 따라 회전할 수 있도록 스핀들의 하단부에 고정 장착되는 로터; 스핀들을 따라 회전하면서 로터를 수직하게 관통하는 제 1 승강안내공에 승강가능하게 배치되어 숄더부의 외측으로 돌출되거나 또는 로터의 내부로 삽입되는 프로브; 및 프로브를 승강 작동시키는 승강수단;를 포함한다. |
