| 发明名称 |
树脂、光阻组合物及光阻图案之制造方法 |
| 摘要 |
明之目的在于提供一种可制造保存稳定性(缺陷、形状)良好之光阻图案之树脂及光阻组合物。
|
| 申请公布号 |
TW201616226 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW104130673 |
申请日期 |
2015.09.16 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
嶋田雅彦;铃木雄喜;市川幸司 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);C08F220/18(2006.01);C08F220/22(2006.01);C08F220/26(2006.01);G03F7/038(2006.01);G03F7/039(2006.01);G03F7/38(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种光阻组合物，其含有：树脂(A1)，其含有式(a4)所表示之结构单元及具有环状醚之结构单元，且不具有酸不稳定基；树脂(A2)，其具有酸不稳定基；以及酸产生剂，
[式(a4)中，R3表示氢原子或甲基，R4表示碳数1~24之具有氟原子之饱和烃基，该饱和烃基所包含之亚甲基亦可经氧原子或羰基取代]。
|
| 地址 |
日本 |
