具有弱电流通路的半导体元件

摘要

明提供一种具有弱电流通路的半导体元件，具有闸极、源极和汲极。其中，在闸极和汲极之间包含复数绝缘层与复数第一导电型浅掺杂区，彼此交错设置，该复数第一导电型浅掺杂区提供该源极与该汲极之间一弱电流通路。当该闸极处于一相对较弱电压范围时，该弱电流通路导通；当该闸极处于一相对较强电压范围时，该弱电流通路不导通。

主权项

一种具有弱电流通路的半导体元件，包含： 一基板； 一第一导电型井区，设置于该基板上，该第一导电型井区内形成一源极、一第二导电型井区、以及一汲极； 复数绝缘层与复数第一导电型浅掺杂区，沿一第一方向彼此交错设置于该第二导电型井区上方，该复数绝缘层与该复数第一导电型浅掺杂区沿一第二方向分别具有一第一端与一第二端，该第一端接近于该源极而该第二端接近于该汲极，其中该第一方向和该第二方向相交；以及 一闸极，靠近该复数绝缘层之第一端，该闸极一部分位于该第一导电型井区上之一闸极氧化层上方、另一部分位于各该复数绝缘层之一部分之上方； 其中，该复数第一导电型浅掺杂区提供该源极与该汲极之间一弱电流通路。