| 摘要 |
고체 촬상 장치는 기판과; 상기 기판의 깊이 방향으로 적층된 복수의 포토 다이오드와; 상기 포토 다이오드의 신호 전하를 판독하기 위해 상기 기판의 깊이 방향으로 매입되어 형성된 종형의 판독 게이트 전극과; 상기 판독 게이트 전극의 저부 및 측면을 피복하여 형성되고, 상기 판독 게이트 전극 측면에는 균일폭으로 형성된 제 1 도전형의 반도체 영역으로 이루어지는 암전류 억제 영역과; 상기 제 1 도전형의 반도체 영역과, 상기 포토 다이오드 사이에, 제 2 도전형의 반도체 영역으로 형성된 판독 채널 영역을 포함한다. |
