| 摘要 |
【課題】有機化合物材料の真空蒸着用蒸発源として蒸発レートの制御性を高め、蒸着温度から予備加熱温度までの降温時間を短縮することで、有機薄膜各層間に対する有機材料のクロスコンタミネーションを減少させるとともに少量の有機材料でも長時間の蒸着が可能となるだけでなく、有機材料交換の迅速性を高めた有機材料蒸発源を提供する。【解決手段】有機材料蒸発源１を有機材料収納容器２、ヒーター３、ヒーター３周囲に配置したリフレクター４、収納容器２下部に接触配置したベースプレート５、ベースプレート５下部に配置した強制冷却部により構成することで、蒸着時の有機材料温度が均一に加熱維持されるだけでなく、降温時に有機材料の強制冷却が可能となる。また、強制冷却部を高熱伝導率熱移動体と熱移動体移動機構で構成することにより熱移動体７をベースプレート５下面に接触させ有機材料材料降温時のみ強制冷却することが可能となる。【選択図】図１ |
