压电超声微马达精密驱动的二维微动台

摘要

本发明属于精密自动控制与微细操作领域。本发明包括一组用弹簧螺钉相连的可相对移动的第一、第二块板,在二块板适当位置处设置有第一、第二个带有中心孔的微调旋钮,还包括的第一、第二压电超声微马达,二个微马达的输出轴分别插入两个微调旋钮的中心孔中,与微调旋钮配合直接驱动微动台的两个微调旋钮,具有结构简单、体积小、精度高、空程小、带负载能力强等特点。

主权项

1、一种压电超声微马达驱动的二维微动台，包括一组用弹簧螺钉相连的可相对移动的第一、第二块板，在二块板适当位置处设置有结构相同的第一、第二个带有中心孔的微调旋扭，其特征在于还包括结构相同的第一、第二压电超声微马达，所说的二个微马达的输出轴分别插入第一、第二微调旋扭的中心孔中，与微调旋扭配合构成传动件。