| 摘要 |
Es sind Konfigurationen eines Metrologietisches und entsprechende Verfahren vorgesehen. Eine schwenkbare Verbindung ist angeordnet, um einen Wafer zu empfangen und dessen Drehung um einen Drehpunkt zu ermöglichen. Eine radiale Achse ist angeordnet, um die radiale und die daran befestigte drehbare Gelenkverbindung zu bewegen. Eine Optik ist mit einem stationären Teil so konfiguriert, dass ein kollimierter Beleuchtungsstrahl erzeugt wird. Beispielsweise kann die Optik stationär sein und die radiale Achse kann mittig gedreht werden, um den Betrieb des Wafertisches ohne zusätzlichen Raum für Führungssysteme zu ermöglichen. In einem anderen Beispiel kann ein Teil der Optik drehbar sein, wenn die Optik so konfiguriert ist, dass die Beleuchtung über eine mechanische Entkopplung oder einen freien Bereich zugeführt wird und die Energie und Steuerung drahtlos zugeführt werden und die Daten drahtlos geliefert werden. Die offenbarten Konfigurationen stellen kompaktere und robustere Tische zur Verfügung, die effizient auch große Wafer handhaben. Die Konfigurationen des Metrologietisches können horizontal oder vertikal sein, wobei letztere die Stellfläche der Maschine weiter minimiert. |
