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Verfahren zur automatisierten Herstellung von funktionalen Objekten mit einer dreidimensionalen Nanostruktur (19), insbesondere von Sensoren für die Rastersondenmikroskopie, wobei a) ein Substrat (1) mit einer Vielzahl von bevorzugt regelmäßig angeordneten Mikrostrukturen (15) auf einem Verschiebetisch (3) mit Stellantrieb (11) eines Mikroskops (4), insbesondere eines Elektronen- oder Ionenmikroskops, fixiert wird, b) in einer oder mehreren automatisierten Positionierungssequenzen jeweils mindestens ein Lagebild des Substrats (1) oder eines Teiles des Substrats (1) mit dem Mikroskop (4) aufgenommen wird, das mindestens eine Lagebild hinsichtlich des Auftretens definierter Merkmale am Substrat (1) analysiert wird, hieraus die räumliche Lage einer der Mikrostrukturen (15) ermittelt wird, sowie diese Mikrostruktur (15) durch eine Stellanweisung an den Stellantrieb (11) des Verschiebetischs (3) positioniert wird, wobei die Analyse des jeweiligen Bildes die Erkennung wenigstens einer geometrischen Form, beispielsweise einer Linie, eines Kreises, eines Dreiecks, eines Vierecks oder einer L-, U- oder V-Form, und/oder die Ermittlung der Orientierung wenigstens einer geometrischen Form in der Bildebene und/oder die Bestimmung der Position wenigstens einer geometrischen Form umfasst, c) die derart positionierte Mikrostruktur (15) in wenigstens einer Bearbeitungssequenz mittels eines Energie- und/oder Materiestrahls (7), insbesondere eines Elektronenstrahls oder eines Ionenstrahls, in einem additiven und/oder subtraktiven Verfahren bearbeitet und so die Nanostruktur (19) ausgebildet wird, d) in einer oder mehreren automatisierten Prüfsequenzen wenigstens ein Prüfbild des Substrats (1) oder eines Teiles des Substrats (1) mit dem Mikroskop (4) aufgenommen wird, das Prüfbild hinsichtlich des Auftretens definierter Merkmale an der Nanostruktur (19) analysiert und hieraus die Qualität der erzeugten Nanostruktur (19) ermittelt wird, und e) die besagte Vielzahl von Mikrostrukturen (15) sequentiell bearbeitet wird. |
