发明名称 |
Mikrobolometer und Verfahren zum Herstellen eines Mikrobolometers |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Mikrobolometer (102) zum Erfassen einer Infrarotstrahlung. Das Mikrobolometer (102) umfasst ein Thermowiderstandselement (200) mit zumindest zwei elektrischen Kontakten (202), einer Lackschicht (204) und einem die elektrischen Kontakte (202) verbindenden elektrischen Leiter (206), wobei der elektrische Leiter (206) zumindest teilweise an die Lackschicht (204) angrenzend angeordnet ist, und wobei das Thermowiderstandselement (200) ausgebildet ist, um ansprechend auf ein Auftreffen der Infrarotstrahlung auf eine Oberfläche (208) des Thermowiderstandselements (200) einen elektrischen Widerstand zwischen den elektrischen Kontakten (202) zu ändern. |
申请公布号 |
DE102014221625(A1) |
申请公布日期 |
2016.04.28 |
申请号 |
DE201410221625 |
申请日期 |
2014.10.24 |
申请人 |
Robert Bosch GmbH |
发明人 |
Gross, David;Utermoehlen, Fabian |
分类号 |
G01J5/20;B81C1/00;H01L37/00 |
主分类号 |
G01J5/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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