带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法及试样的检查或试样的观察方法

摘要

本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。

主权项

一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：带电粒子照射部，其将从带电粒子源放出的一次带电粒子线照射到试样上；第一机箱，其构成为支撑上述带电粒子照射部，能将内部维持为真空状态；第二机箱，其位于该第一机箱且收纳上述试样，具有能在维持上述第一机箱内部的真空状态的状态下从该第二机箱的外部移动放置上述试样的试样台、进而改变上述试样的观察位置的试样出入口部；排气装置，其对上述第一机箱内进行排气；检测器，其在上述第一机箱内检测由上述照射得到的二次带电粒子线；隔壁部，其构成为至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一机箱的一部分、或不同体，对上述第一机箱内与上述第二机箱内之间的至少一部分进行分隔；开口部，其设在该隔壁部上，上述带电粒子照射部侧的开口面积比上述试样侧的开口面积大；以及薄膜，其覆盖该开口部的上述试样侧，使上述一次带电粒子线及上述二次带电粒子线透过或通过。