检查装置

摘要

本发明是有关于一种检查装置，即便在防反射膜的膜厚不均的情形时也可高精度地进行缺陷检测。该外观检查装置(检查装置)包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；摄像部，使用照明光拍摄太阳能电池单元；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像对太阳能电池单元进行检查。

主权项

一种检查装置，其是形成有防反射膜的太阳能电池单元的检查装置，其特征在于包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色来照射照明光；摄像部，使用所述照明光拍摄所述太阳能电池单元；以及控制部，针对所述多种照明色的每一种而获得所述太阳能电池单元的摄像图像，并且根据所述太阳能电池单元对各种所述照明色的所述照明光的反射强度或所述防反射膜的膜厚，而从各种所述照明色的所述摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的所述摄像图像而对所述太阳能电池单元进行检查，所述控制部构成为从各种所述照明色的多个所述摄像图像中选择信号强度相对较低的所述摄像图像，或选择与所述防反射膜膜厚对应的所述照明色的所述摄像图像。