使用超声波使玻璃衬底从载体上脱离

摘要

一种用于制造包括薄的功能衬底(107)的设备的方法，该方法包括：将所述功能衬底结合至载体衬底(101)；在所述功能衬底上形成功能部件(109)；以及，通过施加超声波(205)至结合界面，使所述功能衬底从所述载体衬底脱离。施加超声波以通过减小功能衬底可经受的拉伸应力来协助所述脱离步骤。

主权项

一种用于制造设备的方法，该设备包括薄的功能衬底，该功能衬底具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面和所述第二表面之间的厚度为T1，所述方法包括如下步骤：(A)通过在结合界面处使用一层结合剂将所述功能衬底的第一表面结合至一载体衬底，所述载体衬底的厚度为T2；(B)处理所述功能衬底的第二表面；以及(C)使所述载体衬底从所述功能衬底分离，至少包括脱离的初始阶段，该初始阶段具有如下步骤：通过将超声束直接指向结合界面的边缘区域而将超声波施加至结合界面；其中厚度T1小于厚度T2。