| 发明名称 | 一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构，包括：以三氧化二铝为基底，在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球，另一半不排球，接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。与传统的单一二氧化钒薄膜结构(相变幅度为1-2个数量级)相比，本发明制备的可提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构(相变幅度为2-3个数量级)，可以显著提高二氧化钒薄膜的相变幅度且操作工艺简单可重复性高。 | ||
| 申请公布号 | CN103981500B | 申请公布日期 | 2016.04.27 |
| 申请号 | CN201410223536.X | 申请日期 | 2014.05.23 |
| 申请人 | 天津大学 | 发明人 | 梁继然;刘星;李娜;吴劢君;胡明 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C8/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人 | 宋洁瑾 |
| 主权项 | 一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构，其特征在于，所述可提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构包括：以三氧化二铝为基底，在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球，另一半不排球，接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。 | ||
| 地址 | 300072 天津市南开区卫津路92号 | ||