发明名称 |
一种用于滤光片真空蒸镀设备用电极 |
摘要 |
本实用新型涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备用电极,包括安装板,所述安装板的中轴线的左右两侧设置有相同结构的电极,所述电极由工作电极和水冷电极组成,所述工作电极通过连接线与水冷电极相连通。本实用新型中的水冷电极棒内安装有进水管,使其水冷电极棒能长时间的工作而不会出现温度过高,使水冷电极棒出现损坏,保证其工作效率高,同时在水冷电极棒与工作电极之间采用铜编织的连接线,保证两者正常的连通外,还能保证连接线不会在长时间的上下运动下,出现断裂,使其通电正常。有效的提高其设备的工作效率。 |
申请公布号 |
CN205188421U |
申请公布日期 |
2016.04.27 |
申请号 |
CN201520988515.7 |
申请日期 |
2015.12.02 |
申请人 |
苏州奥夫特光学技术有限公司 |
发明人 |
赵培;何清 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 |
代理人 |
刘洪勋 |
主权项 |
一种用于滤光片真空蒸镀设备用电极,其特征在于:包括安装板(1),所述安装板(1)的中轴线的左右两侧设置有相同结构的电极(2),所述电极(2)由工作电极(3)和水冷电极(4)组成,所述工作电极(3)通过连接线(5)与水冷电极(4)相连通;所述工作电极(3)包括气缸(31),所述气缸(31)挂设在安装板(1)的底端上,所述气缸(31)的活塞杆穿过安装板(1)布置,且在活塞杆的顶端上安装有固定法兰(32),所述固定法兰(32)上从下往上依次固设有下绝缘板(33)、连接板(34)、上绝缘板(35)及触动块(36),所述下绝缘板(33)与上绝缘板(35)之间与连接板(34)的一端夹装布置,所述触动块(36)的底端穿过上绝缘板(35)与连接板(34)相碰接布置,所述连接板(34)的另一端上与连接线的一端相连;所述水冷电极(4)包括水冷电极棒(41),所述水冷电极棒(41)的一端穿过并挂设在安装板(1)上,所述水冷电极棒(41)的轴心处开设有一圆孔(42),所述圆孔(42)内安装有进水管(43),所述进水管(43)的直径小于圆孔(42)的直径,所述水冷电极棒(41)上还开设有一出水口(44),所述出水口(44)与圆孔(42)相连通,所述水冷电极棒(41)凸出安装板(1)的一端与连接片(45)的一端相连,所述连接片(45)的另一端与连接线(5)的另一端相连。 |
地址 |
215153 江苏省苏州市高新技术产业开发区科技城吕梁山路260号 |