| 摘要 |
본 발명은 반도체·LCD 케미컬 세정설비의 세정액으로부터의 피해를 예방하는 다이크에 관한 것으로, 특히 세정설비의 이설시에도 용이한 다이크에 관한 것이다.이와 같은 반도체·LCD 케미컬 세정설비(200)에서 누설된 세정액의 확산을 방지하는 다이크(100)는 상기 세정설비(200)가 설치된 바닥면에 세정설비(200)에서 누설된 세정액의 확산을 방지하도록 설치된 보호벽과; 상기 보호벽의 내측에 충진되는 에폭시(50)와; 세정설비(200)를 지지하는 지지대(211,212) 및 세정설비(200)와 연결된 관(220)이 상기 에폭시(50)와 격리되도록 지지대(211,212) 및 관(220)을 각각 수용하는 홀더(71,72,80)와; 상기 홀더(71,72,80)의 내부에 충진되는 실리콘(60);를 포함하되, 상기 보호벽은 내측으로 결합돌기(13)가 형성된 외벽(11)과, 상기 결합돌기(13)에 결합되면서 외벽(11)과 간격을 두고 결합되는 내벽(12)으로 이루어지고, 상기 에폭시(50)는 보호벽의 내측면 및 상기 외벽(11)과 내벽(12) 사이에 충진되는 것을 특징으로 한다. |
