基于F-P半导体激光器和薄膜F-P滤光片级联的光学传感器

摘要

本发明公开了一种基于F-P半导体激光器和薄膜F-P滤光片级联的光学传感器，包括一个F-P半导体激光器、一个准直透镜、一个具有周期性滤波谱的薄膜F-P滤光片面阵列、一个成像透镜和一个探测器面阵列；所述F-P半导体激光器发出的光经准直透镜后垂直入射到薄膜F-P滤光片面阵列，透射光经成像透镜到达探测器面阵列，探测器面阵列置于成像透镜的焦平面位置处。本发明采用低成本的F-P半导体激光器作为输入光源，采用薄膜F-P滤光片面阵列和探测器面阵列直接可以同时完成对多种被测物质的信息获取工作，无需外加高分辨率的光谱仪或高波长稳定性的单模激光器，大大降低了传感器的制作成本。

主权项

一种基于F‑P半导体激光器和薄膜F‑P滤光片级联的光学传感器，其特征在于，包括一个F‑P半导体激光器(1)、一个准直透镜(2)、一个具有周期性滤波谱的薄膜F‑P滤光片面阵列(3)、一个成像透镜(4)和一个探测器面阵列(5)；其中，所述一个具有周期性滤波谱的薄膜F‑P滤光片面阵列(3)、成像透镜(4)以及探测器面阵列(5)组成一个具有周期性滤波谱的滤波器面阵列(51)；所述F‑P半导体激光器(1)的光源经过准直透镜(2)后成为平行光，垂直入射到薄膜F‑P滤光片面阵列(3)，透射光经过成像透镜(4)成像在探测器面阵列(5)，探测器面阵列(5)置于成像透镜(4)的焦平面位置处，薄膜F‑P滤光片面阵列(3)中的每一个薄膜F‑P滤光片，经过成像透镜(4)一一对应地成像在探测器面阵列(5)中的一个探测器像元上。