| 摘要 |
본 발명은, 금속 충전 장치에 관한 것이다. 본 발명의 금속 충전 장치는, 웨이퍼에 존재하는 미세 공간에 용융 금속을 충전하는 금속 충전 장치로서, 지지체와, 용융 금속 공급부와, 가압 수단을 포함하고 있으며, 상기 지지체는, 상기 웨이퍼를 처리하는 처리실과, 상기 웨이퍼를 설치하는 설치면을 구비한 제1 부재와, 상기 처리실에 연결되는 금속 공급로를 구비한 제2 부재를 가지며, 상기 처리실은, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재가 조합되는 것에 의해서 획정되고, 상기 용융 금속 공급부는, 상기 설치면에 설치된 상기 웨이퍼에 존재하는 상기 미세 공간에, 상기 금속 공급로를 통하여 상기 용융 금속을 충전하는 것이며, 상기 가압 수단은, 상기 웨이퍼와, 상기 미세 공간내에 충전된 용융 금속을 가압한다. |
