摘要 |
본 발명은, 유도 열 플라즈마를 이용한 나노카본 분말 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 유도 열 플라즈마 장비를 이용하여 플라즈마 소스 가스로 플라즈마를 형성하고, 고온의 플라즈마와 접촉하는 방법으로 출발원료를 열분해하고, 열분해된 출발원료로부터 생성된 나노카본에 대하여 반응관 상부에서 급냉가스를 공급하여 냉각하는 방법으로 고순도의 나노카본 분말을 얻을 수 있다. 본 발명에 의하면, 유도 열 플라즈마를 이용하므로 고온에서 진행되는 특징이 있어서 짧은 시간 내에 반응이 이루어지고, 불순물을 발생시키지 않는다. 이에 따라 후속 열처리가 불필요하고 연속공정으로 구성되어 있어서, 공정의 단순화가 가능하다. 또한 급냉가스의 공급 유량에 따른 냉각 속도의 조절로 나노카본의 성장 속도를 조절할 수 있어서 나노카본에 대한 물성제어가 용이하다. |