发明名称 METHOD FOR PREPARING GRAPHENE HAVING CONTROLED LAYER NUMBER AND METHOD FOR FABRICATING ELECTRONIC DEVICE USING THE SAME
摘要 금속촉매를 수소 기체와 접촉시키는 단계(단계 a); 단계 a의 금속촉매를 탄화수소 기체, 질소 기체 및 불활성 기체 중에서 선택된 1종 이상과 접촉시키는 단계(단계 b); 및 단계 b의 금속촉매를 수소 기체 및 탄화수소 기체와 접촉시켜 금속촉매상에 그래핀을 형성하는 단계(단계 c);를 포함하는 그래핀의 제조방법이 제공된다. 이에 의하여, 최초의 금속촉매층 표면의 거칠기와 상관없이 필요에 따라 그래핀층의 수를 다양하게 조절할 수 있고, 나아가 그래핀 형성 시간을 단축시켜 공정비용을 절감할 수 있다.
申请公布号 KR101614322(B1) 申请公布日期 2016.04.21
申请号 KR20140084505 申请日期 2014.07.07
申请人 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 发明人 조길원;이효찬;이은호
分类号 C01B31/04 主分类号 C01B31/04
代理机构 代理人
主权项
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