プラズマ抵抗性が向上したセラミック被膜の形成方法およびこれによるセラミック被膜

摘要

【課題】本発明の一実施例はプラズマ抵抗性が向上したセラミック被膜の形成方法およびこれによるセラミック被膜に関する。【解決手段】本発明は、粉末供給部から粉末の第１粒径範囲を有する多数のセラミック粉末が供給され、移送ガスを利用してセラミック粉末を移送する段階と、移送されたセラミック粉末を工程チャンバー内の基材に１００乃至５００ｍ／ｓの速度で衝突および破砕させて、被膜の第１粒径範囲を有する多数の第１セラミック粒子と、被膜の第１粒径範囲より大きい被膜の第２粒径範囲を有する多数の第２セラミック粒子が混合されたセラミック被膜を形成する段階とを含み、第１セラミック粒子被膜の第１粒径範囲は２００ｎｍ乃至９００ｎｍであり、第２セラミック粒子被膜の第２粒径範囲は９００ｎｍ乃至１０μｍであるプラズマ抵抗性が向上したセラミック被膜の形成方法およびこれによる被膜を開示する。【選択図】図１