发明名称 | 电路板显影电镀蚀刻设备 | ||
摘要 | 电路板显影电镀蚀刻设备,适于对曝光后之电路板进行显影、电镀及蚀刻制程。电路板显影电镀蚀刻设备包括多个槽单元及移动单元。槽单元包括显影槽、第一水洗槽、酸洗槽、第二水洗槽、电镀槽、第三水洗槽、剥离槽、第四水洗槽、蚀刻槽、第五水洗槽及乾燥槽,且此些槽单元依上述顺序彼此接连。移动单元夹持曝光后之电路板,以使曝光后之电路板依序经由显影槽、第一水洗槽、酸洗槽、第二水洗槽、电镀槽、第三水洗槽、剥离槽、第四水洗槽、蚀刻槽、第五水洗槽以及乾燥槽,而完成显影、电镀及蚀刻制程。 | ||
申请公布号 | TWI531287 | 申请公布日期 | 2016.04.21 |
申请号 | TW101117994 | 申请日期 | 2012.05.21 |
申请人 | 健鼎科技股份有限公司 | 发明人 | 藤川治;孙奇;杨中贤;杨伟雄 |
分类号 | H05K3/00(2006.01) | 主分类号 | H05K3/00(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;叶璟宗 | |
主权项 | 一种电路板显影电镀蚀刻设备,适于对一曝光后之电路板进行显影、电镀及蚀刻制程,该电路板显影电镀蚀刻设备包括:多个槽单元,该些槽单元呈一回圈排列并包括:一显影槽,以对该曝光后之电路板进行一显影步骤,而形成一图案化光阻层;一第一水洗槽,连接该显影槽;一酸洗槽,连接该第一水洗槽;一第二水洗槽,连接该酸洗槽;一电镀槽,连接该第二水洗槽;一第三水洗槽,连接该电镀槽;一剥离槽,连接该第三水洗槽,以移除该图案化光阻层;一第四水洗槽,连接该剥离槽;一蚀刻槽,连接该第四水洗槽;一第五水洗槽,连接该蚀刻槽;以及一乾燥槽,连接该第五水洗槽;以及一移动单元,夹持该曝光后之电路板的一周缘,并暴露该曝光后之电路板的相对两待电镀面,该移动单元沿该回圈传送曝光后之电路板进入及退出该些槽单元,以使该曝光后之电路板依序经由该显影槽、该第一水洗槽、该酸洗槽、该第二水洗槽、该电镀槽、该第三水洗槽、该剥离槽、该第四水洗槽、该蚀刻槽、该第五水洗槽以及该乾燥 槽,而完成显影、电镀及蚀刻制程。 | ||
地址 | 桃园市平镇区平镇工业区工业五路21号 |