发明名称 |
喷吐泵结构 |
摘要 |
喷吐泵结构,用以控制光阻喷吐量其包括有一光阻泵,该光阻泵具有输入口以及输出口,该输入口与该输出口皆与输送管相接,光阻泵前后分别设有第一气动阀以及第二气动阀用以控制输送管内光阻液的流入与流出,能够更精准的控制所需要的光阻液用量,防止多余的光阻液残留在喷嘴内,造成不必要的成本浪费。
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申请公布号 |
TWM520720 |
申请公布日期 |
2016.04.21 |
申请号 |
TW104214384 |
申请日期 |
2015.09.04 |
申请人 |
慧竹开发有限公司 |
发明人 |
尹安和 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01);B05C11/10(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈瑞田 |
主权项 |
一种喷吐泵结构,用以控制光阻喷吐量其包括:一光阻泵,该光阻泵具有一输入口以及一输出口,该输入口与该输出口皆与一输送管相接;一第一气动阀,该第一气动阀设于该光阻泵的该输入口前方,用以控制液体的流入;以及一第二气动阀,该第二气动阀设于该光阻泵的该输出口后方,用以控制液体的流出。
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地址 |
台中市北屯区南京东路3段35巷62号 |