用于产生电子束的设备

摘要

本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。

主权项

一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压能够产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子能够被加速到阴极（14）的表面上并且由阴极发射的电子能够被加速进入辉光放电等离子体中，其特征在于，a）阴极（14）的构造阴极（14）的中央布置的第一表面区域的第一部分（14a）至少在发射侧由第一材料制成；b）阴极（14）的构造阴极（14）的围住第一表面区域的第二表面区域的第二部分（14b）由第二材料制成；c）第一材料是导电的，具有大于1750K的熔化温度Ts并且拥有小于4eV的电子逸出功；d）第二材料是导电的并且拥有大于4eV的电子逸出功；e）第一材料通过加载有被加速的离子而能被加热到如下温度：在该温度下，电子大多数由于热电子发射而从第一材料逸出，其中所述设备不具有用于冷却阴极（14）的装置。