CMP集成控制系统的通讯模块

摘要

本发明提出一种CMP集成控制系统的通讯模块，该CMP集成控制系统包括：主工控机、下位机组和二级工控机，该通讯模块用于实现主工控机与下位机组和二级工控机之间的通讯，其包括：OPC访问子模块和TCP/IP访问子模块，且两个子模块并行工作；主工控机通过OPC访问子模块从下位机组获取多个工艺单元的状态信息和过程参数，并向下位机组发送控制多个工艺单元运行的控制指令、工艺配方及工艺参数，以及通过TCP/IP访问子模块向二级工控机发送控制指令以便二级工控机控制被集成单元执行相应的动作，并接收二级工控机的反馈。本发明实施例的通讯模块具有安全、稳定及可靠的优点，且该通讯模块便于维护，可扩展性好。

主权项

一种CMP集成控制系统的通讯模块，用于实现主工控机与下位机组和二级工控机之间的通讯，其特征在于，包括：OPC访问子模块和TCP/IP访问子模块，且所述OPC访问子模块和TCP/IP访问子模块并行工作，其中，所述CMP集成控制系统包括：下位机组、二级工控机和主工控机；所述下位机组分别与多个工艺单元一一对应相连，用于控制所述多个工艺单元的运行，并监测所述多个工艺单元的运行状态及过程参数；所述二级工控机与被集成单元相连，用于控制所述被集成单元的运行，并监测所述被集成单元的运行状态及过程参数；所述主工控机通过所述OPC访问子模块从所述下位机组获取所述多个工艺单元的状态信息和过程参数，并向所述下位机组发送控制所述多个工艺单元运行的控制指令、工艺配方及工艺参数，以及通过所述TCP/IP访问子模块向所述二级工控机发送控制指令以便所述二级工控机控制被集成单元执行相应的动作，并接收所述二级工控机的反馈，其中，所述主工控机通过所述TCP/IP访问子模块向所述二级工控机发送的控制指令包括：建立或断开连接指令、工艺配方的选择和读取指令、装片准备和卸片结束指令以及全部状态参数读取指令，所述TCP/IP访问子模块通过所述二级工控机提供的接口函数发送各指令的数据包。