发明名称 |
非易失性存储元件、非易失性存储元件组及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了非易失性存储元件组、非易失性存储元件及其制造方法,所述非易失性存储元件组包括:(A)第一绝缘层;(B)第二绝缘层,其具有第一凹部以及与第一凹部连通的第二凹部,且第二凹部的宽度大于第一凹部的宽度,并且第二绝缘层布置于第一绝缘层上;(C)多个电极,它们布置于第一绝缘层中,并且多个电极的顶面从第一凹部的底面露出;(D)信息存储层,其形成于第一凹部和第二凹部的侧壁和底面上;以及(E)导电材料层,其填充在由第二凹部中的信息存储层围成的空间中。本发明可避免由于图形化而对信息存储层造成损伤。此外,可避免膜的剥落。还可简化制造工艺。 |
申请公布号 |
CN105514114A |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201610028977.3 |
申请日期 |
2011.10.08 |
申请人 |
索尼公司 |
发明人 |
角野润;本田元就 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
李晗;曹正建 |
主权项 |
一种非易失性存储元件组,其包括:(A)第一绝缘层;(B)第二绝缘层,其具有第一凹部以及与所述第一凹部连通的第二凹部,所述第二凹部的宽度大于所述第一凹部的宽度,并且所述第二绝缘层布置于所述第一绝缘层上;(C)多个电极,它们布置于所述第一绝缘层中,并且每个所述电极的顶面在所述第一凹部的底面处露出;(D)信息存储层,其形成于所述第一凹部和所述第二凹部的侧壁和底面上;以及(E)导电材料层,其填充在由所述第二凹部中的所述信息存储层围成的空间中。 |
地址 |
日本东京 |