发明名称 非易失性存储元件、非易失性存储元件组及其制造方法
摘要 本发明提供了非易失性存储元件组、非易失性存储元件及其制造方法,所述非易失性存储元件组包括:(A)第一绝缘层;(B)第二绝缘层,其具有第一凹部以及与第一凹部连通的第二凹部,且第二凹部的宽度大于第一凹部的宽度,并且第二绝缘层布置于第一绝缘层上;(C)多个电极,它们布置于第一绝缘层中,并且多个电极的顶面从第一凹部的底面露出;(D)信息存储层,其形成于第一凹部和第二凹部的侧壁和底面上;以及(E)导电材料层,其填充在由第二凹部中的信息存储层围成的空间中。本发明可避免由于图形化而对信息存储层造成损伤。此外,可避免膜的剥落。还可简化制造工艺。
申请公布号 CN105514114A 申请公布日期 2016.04.20
申请号 CN201610028977.3 申请日期 2011.10.08
申请人 索尼公司 发明人 角野润;本田元就
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人 李晗;曹正建
主权项 一种非易失性存储元件组,其包括:(A)第一绝缘层;(B)第二绝缘层,其具有第一凹部以及与所述第一凹部连通的第二凹部,所述第二凹部的宽度大于所述第一凹部的宽度,并且所述第二绝缘层布置于所述第一绝缘层上;(C)多个电极,它们布置于所述第一绝缘层中,并且每个所述电极的顶面在所述第一凹部的底面处露出;(D)信息存储层,其形成于所述第一凹部和所述第二凹部的侧壁和底面上;以及(E)导电材料层,其填充在由所述第二凹部中的所述信息存储层围成的空间中。
地址 日本东京