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发明名称 SIOC:H COATED SUBSTRATES
摘要 Coated substrates containing a barrier layer comprising hydrogenated silicon oxycarbide having a density of at least 1.6 g/cm3 and methods of preparing the coated substrates.
申请公布号 EP1799877(B2) 申请公布日期 2016.04.20
申请号 EP20050786627 申请日期 2005.08.12
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 LOBODA, MARK;SNOW, STEVEN;WEIDNER, WILLIAM;ZAMBOV, LUDMIL
分类号 C23C16/30;C23C16/40;C23C16/455;H01L21/02;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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