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发明名称 ECR-Ionen-Quelle
摘要
申请公布号 DE19641439(C2) 申请公布日期 2000.09.07
申请号 DE19961041439 申请日期 1996.10.08
申请人 EHRET, HANS-P. 发明人 EHRET, HANS-P.
分类号 H01J27/18;H05H1/46;(IPC1-7):H01J27/16;H01J37/08;C23C14/48 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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