一种药水循环装置及具有该装置的沉铜系统、电镀系统

摘要

本实用新型公开一种药水循环装置及具有该装置的沉铜系统、电镀系统，其中，药水循环装置包括第一储液槽和第二储液槽，用于将第一储液槽底部的药水、顶部的药水分别输送至第二储液槽内的第一输送装置、第二输送装置；以及用于对第二储液槽内的药水进行过滤，并将过滤后的药水输送到第一储液槽内的第一过滤器。沉铜系统包括取放装置，以及上述的药水装置。电镀系统包括用取放装置，上述的药水装置，以及用于给第一储液槽内提供铜离子的电极装置。由于第一储液槽的顶部、底部药水中的杂质能够被及时地过滤掉，使得药水一直处于澄清状态，在基板上沉铜或者电镀铜时，均不会在基板的表面上、孔内带入杂质，从而降低制备出的PCB板的报废率。

主权项

一种药水循环装置，其特征在于：包括第一储液槽(1)和第二储液槽(2)；第一输送装置(3)，用于将所述第一储液槽(1)底部的药水输送至所述第二储液槽(2)内；第二输送装置(4)，用于将所述第一储液槽(1)顶部的药水输送至所述第二储液槽(2)内；第一过滤器(5)，用于对所述第二储液槽(2)内的药水进行过滤；并将过滤后的药水输送到第一储液槽(1)内。