| 发明名称 | 一种盲孔的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供的一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法包括：提供一基板，所述基板包括：相对设置的第一表面以及第二表面；在所述第一表面形成掩膜层；所述掩膜层包括：用于形成盲孔的镂空区域；对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105513973A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201610094996.6 | 申请日期 | 2016.02.19 |
| 申请人 | 信利光电股份有限公司 | 发明人 | 朱得菊;吴德生 |
| 分类号 | H01L21/48(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/48(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王宝筠 |
| 主权项 | 一种盲孔的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板，所述基板包括：相对设置的第一表面以及第二表面；在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层；其中，所述掩膜层包括：用于形成盲孔的镂空区域；对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；其中，所述盲孔为深度小于所述基板厚度的凹槽；当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。 | ||
| 地址 | 516600 广东省汕尾市市区工业大道信利工业城一区第15栋 | ||