| 发明名称 | 一种激光退火设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种激光退火设备，包括输送惰性气体的气体导入装置，其中，所述气体导入装置包括设置在惰性气流的流通路径上，能够对所述惰性气流实现搅动和重塑的齿轮组。本实用新型提供的激光退火设备，其上设置的气体导入装置，与原有的气体导入装置的不同之处在于，在惰性气流的流通路径上增设了齿轮组。惰性气流直接吹到齿轮组上，通过齿轮组的转动来扰动气流，将气流重塑为以沿长轴方向各处流量均匀分布的气帘，并且齿轮组以不同转速转动时还能够实现对气帘流量的调节，从而达到控制氧浓度的效果，以适应不同的退火需求，从而显著提高了多晶硅的结晶质量。 | ||
| 申请公布号 | CN205177799U | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201521053267.3 | 申请日期 | 2015.12.16 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 赵雁飞 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人 | 王刚;龚敏 |
| 主权项 | 一种激光退火设备，包括输送惰性气体的气体导入装置，其特征在于，所述气体导入装置包括设置在惰性气流的流通路径上，能够对所述惰性气流实现搅动和重塑的齿轮组。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||