| 摘要 |
미분 모아레를 이용한 3차원 형상 측정방법 및 장치를 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 모아레 간섭법을 이용한 3차원 형상 측정장치에 있어서, 인접한 두 측정점의 위상차를 이용하여 절대 모아레 차수의 상대적인 보정수치를 얻는 단위 보정부; 목표점에 이르기까지 상기 보정수치를 이용하여 절대 모아레 차수를 보정해 나가는 통합 보정부 및 상기 절대 모아레 차수를 이용하여 상기 목표점의 위상을 보정하는 위상 보정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 모아레 간섭법을 이용한 3차원 형상 측정장치를 제공한다. |
