一种获取平面型器件的接触电阻的方法

摘要

一种获取平面型器件的接触电阻的方法，包括：运用电位测量方法获取平面型器件接触电阻；在该表面电位分布测量中，平面型器件处于电流流通状态，器件的结区形成一定的电压降，采用线性拟合的方法提取开尔文显微镜测得的电压降，并采用电压降除以流经器件电流，从而可精确地计算出平面型器件结区处的接触电阻大小。利用本发明，可以精确测量平面型器件的接触电阻，适于薄膜晶体管和二极管等器件的接触电阻测量实验。本发明理论合理，结果精确，简单易行，有利于优化器件性能、建立完整的器件电学模型。

主权项

一种获取平面型器件的接触电阻的方法，其特征在于，包括以下步骤：制作平面型器件；对该平面型器件经行表面电位分布进行测量，该平面型器件处于电流流通状态，器件结区形成一定的电压降，采用测量的该电压降除以流经器件电流，从而精确计算出该平面型器件结区处接触电阻的大小。