发明名称 |
用于传送物体的方法和装置 |
摘要 |
本发明涉及用于运送基本上扁平的、可自由移动的物体的方法和装置,其中至少该物体的保持和导向仅通过使用流动液体来实现。根据本发明的装置包括:至少一个处理表面,该处理表面具有带多个穿透开口的至少一个流入区域;以及至少一个用于在提供流入量之后排放液体的排放区域,但是该装置不具有非流体边缘、限制器或用于导向扁平物体的其它机械导向辅助。优选地,基于本发明的运送设备可用于扁平物体或基底的处理系统中或这些处理系统之间。进一步地,考虑到不同的运送液体具有各自相应的特征或者分别包括各自相应的物质或活性剂,还可以在传送的同时进行湿化学处理。 |
申请公布号 |
CN102105974B |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN200980128679.X |
申请日期 |
2009.06.19 |
申请人 |
睿纳有限责任公司 |
发明人 |
威泰立·波特菲乌;德尔克·巴瑞斯;康瑞德·卡尔腾贝克;弗兰克·德拉哈耶 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 |
代理人 |
赵飞;郑雪娜 |
主权项 |
一种使用装置在液体上运送至少一个基本上扁平且能够自由移动的物体(1)的方法,所述装置包括:至少一个处理表面,所述处理表面具有至少一个流入区域(2);以及至少一个排放区域(3),侧向邻接于所述处理表面;其中,需要被运送的液体(F)从所述至少一个处理表面的至少一个流入区域(2)流出,以使所述液体在从设置于所述处理表面的侧面的所述至少一个排放区域(3)排放之前先流到所述扁平物体(1)上,从而在所述处理表面与所述扁平物体(1)之间形成当所述扁平物体(1)偏离位置时自动地返回优选位置的提供液体(F)薄层的粘附力,通过所述粘附力,在无需机械导向辅助设备的情况下就能将物体(1)在所述液体薄层上保持并以轨迹粘附的形式导向。 |
地址 |
德国居滕巴赫 |