EXPOSURE APPARATUS EXPOSURE METHOD AND DEVICE PRODUCING METHOD

摘要

이 노광 장치는, 투영 광학계의 이미지면측에 배치된 기판 상에 상기 투영 광학계와 액체를 통해서 노광광을 조사함으로써 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기판 상에 액체를 공급하는 액체 공급 기구와, 상기 기판 상에 공급된 액체를 회수하는 액체 회수 기구를 구비하고, 상기 노광광이 상기 투영 광학계의 이미지면측에 조사되고 있을 때, 상기 액체 회수 기구는 상기 액체를 회수하지 않는다.