| 发明名称 |
LIQUID RECOVERY APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE PRODUCTION METHOD |
| 摘要 |
이 노광장치는 투영광학계와 기판 사이를 액체로 채우고, 투영광학계와 액체를 통해 기판상에 패턴 이미지를 투영함으로써 기판을 노광한다. 이 노광장치는 상용 전원으로부터 공급되는 전력에 의해 구동되는 구동부를 갖는 액체회수기구와, 상용 전원과는 다른 무정전 전원을 구비하고, 상용 전원의 정전시에 구동부에 대한 전력의 공급이 무정전 전원으로 전환된다. |
| 申请公布号 |
KR20160042180(A) |
申请公布日期 |
2016.04.18 |
| 申请号 |
KR20167008491 |
申请日期 |
2004.08.27 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
ARAI DAI;HARA HIDEAKI;TAKAIWA HIROAKI |
| 分类号 |
G03F7/20;G03B27/42;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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