电浆处理装置

摘要

明之目的在于提高电浆离子密度之均一性。

主权项

一种电浆处理装置，其包含：腔室；对象物保持部，其于上述腔室内保持成为处理对象之对象物；至少1个电感耦合型天线，其匝数未满一圈；高频电源，其对上述至少1个电感耦合型天线供给高频电力；及至少1个天线保持部，其以上述至少1个电感耦合型天线自上述腔室之一壁部突出于上述腔室内之方式，相对于上述一壁部各自保持上述至少1个电感耦合型天线之各者；上述至少1个天线保持部之各者系以可于与该电感耦合型天线之突出方向交叉之面内，变更连结上述至少1个电感耦合型天线中对应之电感耦合型天线之两端部之线段之方向之方式，于该两端部保持上述对应之电感耦合型天线。