包括具有光酸产生官能基及硷溶解度增强官能基的重复单元的聚合物及相关光阻剂组合物及电子装置形成方法

摘要

物包含重复单元，所述重复单元中的大部分是光酸产生重复单元。所述光酸产生重复单元中的每一个包含光酸产生官能基及硷溶解度增强官能基。所述光酸产生重复单元中的每一个包括阴离子及光酸产生阳离子，所述阴离子及所述光酸产生阳离子全体地具有结构(I)

主权项

一种聚合物，其包括以全部重复单元的100莫耳%计50至100莫耳%的光酸产生重复单元；其中所述光酸产生重复单元中的每一个包括阴离子、光酸产生阳离子及硷溶解度增强官能基；其中所述阴离子或所述光酸产生阳离子是聚合物结合的；其中所述硷溶解度增强官能基选自由以下各者组成之群：第三羧酸酯、其中二级碳经至少一个未经取代或经取代的C6-40芳基取代的第二羧酸酯、缩醛、缩酮、内酯、磺内酯、α-氟化酯、β-氟化酯、α,β-氟化酯、聚伸烷基二醇、α-氟化醇及其组合；且其中所述阴离子及所述光酸产生阳离子的组合具有结构(I)

其中q在每一光酸产生重复单元中独立地为0、1、2、3、4或5；r在每一光酸产生重复单元中在每次出现时独立地为0、1、2、3或4；R1在每一光酸产生重复单元中在每次出现时独立地为卤素、未经取代或经取代的C1-40烃基或未经取代或经取代的C1-40伸烃基；m在每一光酸产生重复单元中独立地为0或1；
X在每一光酸产生重复单元中独立地为单键、-O-、-S-、-C(=O)-、-C(R2)2-、-C(R2)(OH)-、-C(=O)O-、-C(=O)N(R2)-、-C(=O)C(=O)-、-S(=O)-或-S(=O)2-，其中R2在每次出现时独立地为氢或C1-12烃基；且Z-是游离或单价单阴离子。