| 发明名称 |
用于投射微影之照明光学单元的琢面反射镜 |
| 摘要 |
投射微影之照明光学单元的一琢面反射镜(11)包含复数个使用琢面(12)，其在各个情况下反射一照明光部分光束。琢面反射镜(11)具有至少一变化子单元(161、162、163)，其具有在一琢面载具上共同配置的复数个变化琢面(12；121、121’)，其中变化琢面可在替代地放置于只有一个使用琢面(12)的使用位置。这结果为一琢面反射镜可用以在操作上可靠且稳定地设定不同的照明几何或照明设定。
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| 申请公布号 |
TW201614305 |
申请公布日期 |
2016.04.16 |
| 申请号 |
TW104127529 |
申请日期 |
2015.08.24 |
| 申请人 |
卡尔蔡司ＳＭＴ有限公司 |
发明人 |
帝俊瑟 马可斯;派崔 麦可 |
| 分类号 |
G02B7/182(2006.01);G02B7/198(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G02B7/182(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
李宗德 |
| 主权项 |
一种琢面反射镜，用于投射微影之一照明光学单元，包含：复数个使用琢面，其在各个情况下反射一照明光部分光束；以及至少一变化子单元，其具有共同配置于一琢面载具上的复数个变化琢面，其中该等变化琢面可替代地放置于该等使用琢面之其中单一个之使用的一位置。
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| 地址 |
德国 |
