发明名称 组成物、片的制造方法、片、积层体及带有元件晶圆的积层体
摘要 一种组成物、片的制造方法、片、积层体及带有元件晶圆的积层体,所述组成物的弹性体的溶解性良好,可提高固体成分浓度,可形成乾燥性、表面状态及耐热性优异的膜。该组成物含有:自25℃起以20℃/min升温的5%热质量减少温度为375℃以上的弹性体;下述通式(1)所表示的沸点为160℃以上的溶剂;及沸点小于120℃的溶剂。通式(1)中,R1 ~R6 分别独立地表示氢原子或脂肪族烃基。
申请公布号 TW201613989 申请公布日期 2016.04.16
申请号 TW104131521 申请日期 2015.09.24
申请人 富士软片股份有限公司 发明人 加持义贵;小山一郎;岩井悠;中村敦;沢野充
分类号 C08J3/09(2006.01);C08J5/18(2006.01);C08L25/08(2006.01);C09J7/00(2006.01);B32B27/06(2006.01);H01L21/683(2006.01) 主分类号 C08J3/09(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗;郑婷文;詹富闵
主权项 一种组成物,其含有: 自25℃起以20℃/min升温的5%热质量减少温度为375℃以上的弹性体; 下述通式(1)所表示的沸点为160℃以上的溶剂;及 沸点小于120℃的溶剂,通式(1)中,R1 ~R6 分别独立地表示氢原子或脂肪族烃基。
地址 日本