发明名称 |
组成物、片的制造方法、片、积层体及带有元件晶圆的积层体 |
摘要 |
一种组成物、片的制造方法、片、积层体及带有元件晶圆的积层体,所述组成物的弹性体的溶解性良好,可提高固体成分浓度,可形成乾燥性、表面状态及耐热性优异的膜。该组成物含有:自25℃起以20℃/min升温的5%热质量减少温度为375℃以上的弹性体;下述通式(1)所表示的沸点为160℃以上的溶剂;及沸点小于120℃的溶剂。通式(1)中,R1
~R6
分别独立地表示氢原子或脂肪族烃基。 |
申请公布号 |
TW201613989 |
申请公布日期 |
2016.04.16 |
申请号 |
TW104131521 |
申请日期 |
2015.09.24 |
申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
加持义贵;小山一郎;岩井悠;中村敦;沢野充 |
分类号 |
C08J3/09(2006.01);C08J5/18(2006.01);C08L25/08(2006.01);C09J7/00(2006.01);B32B27/06(2006.01);H01L21/683(2006.01) |
主分类号 |
C08J3/09(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
主权项 |
一种组成物,其含有: 自25℃起以20℃/min升温的5%热质量减少温度为375℃以上的弹性体; 下述通式(1)所表示的沸点为160℃以上的溶剂;及 沸点小于120℃的溶剂,通式(1)中,R1
~R6
分别独立地表示氢原子或脂肪族烃基。 |
地址 |
日本 |